发明授权
CN102970829B 衬底的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 衬底的制备方法
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申请号： CN201210117647.3申请日： 2004-09-10
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公开(公告)号： CN102970829B公开(公告)日： 2016-01-20
- 发明人: 村田和广 , 横山浩 , 伊东大辅 , 泉谷晃人 , 畑宪明 , 松叶頼重
- 申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社 , SIJ技术株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 独立行政法人产业技术综合研究所,播磨化成株式会社,SIJ技术株式会社
- 当前专利权人： 独立行政法人产业技术综合研究所,播磨化成株式会社,SIJ技术株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王永刚
- 优先权： 2003-321751 2003.09.12 JP
- 分案原申请号： 2004800260766 2004.09.10
- 主分类号： H05K3/12
- IPC分类号： H05K3/12 ; H05K3/40 ; H01L21/48
摘要：
制备衬底的方法，包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形，然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
公开/授权文献
- CN102970829A 衬底及其制备方法 公开/授权日：2013-03-13
