一种纯钨毛细管的生产装置，涉及一种纯钨毛细管。提供一种利用化学气相沉积方法，具有高致密度、高纯度等优点的纯钨毛细管的生产装置。设有恒温配气系统、高温沉积系统和回收与尾气处理系统，三者依次连接。恒温配气系统设有箱体、温控与排气机构、进料机构，温控与排气机构设有风机和加热器，进料机构设有原料气WF6气瓶、H2气瓶、质量流量计和混合罐。高温沉积系统设有管路系统和沉积系统，所述管路系统设有两条并联管路。沉积系统设有炉体。回收及尾气处理系统设有回收装置和尾气处理器，回收装置为两个冷凝器串联而成，冷凝器上部为冷凝器主体，冷凝器下部为冷凝器收集器。