在线检测材料弹性参数均匀性的非接触式检测方法
摘要:
在线检测材料弹性参数均匀性的非接触式检测方法,对固体材料的弹性常数采用非接触式实时表征方法:(1)利用脉冲激光辐射到空间调制器,当脉冲激光经过空间调制器后产生两束相干光;激光源采用纳秒或皮秒脉冲光源,并通过光栅构成的空间调制器将脉冲光进行分光,并取其中的±1级作为相干光源;(2)利用光学元器件透镜组将两束相干光辐射到被测材料表面产生空间相干的干涉场,并在被测材料表面形成明暗相间的干涉条纹;明暗相间的干涉条纹间距通过调节透镜组或者光栅来获取;(3)当由脉冲光源形成的干涉条纹被检测薄膜材料吸收后,在薄膜材料中产生与干涉条纹间距相应波长的声波;表征和分析固体样品弹性常数特性的非接触式检测。
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