用等离子提取反应器可将气相废物从废气流中除去，该等离子反应器由一对平行间隔布置的电极构成。这些电极是在一定条件、通常在射频条件下被激励而引起废气辉光放电，被激活的物质直接沉积在电极表面上。只要具备电极面积对反应器容积及废气体积流量的很高的比率，基本上可完全除掉废物。系统特别适用于分离半导体生产过程中释放出的污染物质，生产过程包括如化学蒸汽沉淀及等离子侵蚀。气体提取方法及装置的最大优点在于将气相的废物转变为能直接沉积在电极上的固相物质，而电极然后可予以处理。