红外热检测器及其制造方法
Abstract:
本发明提供了一种红外热检测器及其制造方法。该红外热检测器包括:基板;检测器,与基板间隔开,经由局域表面等离子体共振吸收入射红外光,并根据由所吸收的红外光引起的温度变化来改变电阻值;以及热支路,将来自检测器的信号传输到基板。
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