• 专利标题: 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器
  • 专利标题(英): Double-layer orthogonal air floatation decoupling and flexible membrane angular decoupling magnetic levitation zero-rigidity vibration isolator
  • 申请号: CN201210574800.5
    申请日: 2012-12-19
  • 公开(公告)号: CN103047350A
    公开(公告)日: 2013-04-17
  • 发明人: 王雷崔俊宁谭久彬
  • 申请人: 哈尔滨工业大学
  • 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
  • 专利权人: 哈尔滨工业大学
  • 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
  • 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
  • 主分类号: F16F15/027
  • IPC分类号: F16F15/027 F16F15/03
双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器
摘要:
双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载,气浮板与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑,上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦,二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦等特性,可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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