- 专利标题: 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
- 专利标题(英): Double-layer orthogonal air floatation decoupling and sliding knuckle bearing angular decoupling eddy-current damping vibration isolator
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申请号: CN201210575237.3申请日: 2012-12-19
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公开(公告)号: CN103047357A公开(公告)日: 2013-04-17
- 发明人: 崔俊宁 , 谭久彬 , 王雷
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 主分类号: F16F15/027
- IPC分类号: F16F15/027 ; F16F15/03 ; F16C32/06
摘要:
双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑,套筒与气浮板之间通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性,上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦,角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性,可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
公开/授权文献
- CN103047357B 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器 公开/授权日:2014-12-24