本发明公开了一种表面贴装微波器件S参数测试系统及测试数据校准方法，被测器件的输出与定向耦合器相连，定向耦合器与信号发生器相连，每个定向耦合器的两路输出分别依次通过功率检波器和模数转换器与中央控制器连接；它还包括电压检测电路、电流检测电路和温度检测电路，电压、电流和温度检测电路的输出均通过模数转换器与中央控制器连接。校准方法包括：确认校准状态；使用机械校准套件进行校准；使用电子校准套件进行校准。本发明能够测试工作在大功率或大动态范围工作状态下的滤波器件S参数，且测试功率及频率范围广；能够检测器件的温度、电压及电流，提高了其使用安全性和稳定性；采用双重校准方法，可进一步提高S参数测试结果的准确性。