- 专利标题: 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
- 专利标题(英): Rolling knuckle bearing angle decoupling and magnetic levitation plane driving location vibration isolator
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申请号: CN201210574757.2申请日: 2012-12-19
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公开(公告)号: CN103062300A公开(公告)日: 2013-04-24
- 发明人: 谭久彬 , 崔俊宁 , 王雷
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 主分类号: F16F15/027
- IPC分类号: F16F15/027 ; F16F15/03 ; F16C32/06
摘要:
滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载,活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦,电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性,可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能,从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
公开/授权文献
- CN103062300B 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 公开/授权日:2015-04-22