光照射装置、光照射方法、金属卤化物灯
摘要:
本发明公开一种具有金属卤化物灯、双层管、氧化膜的光照射装置。金属卤化物灯具有筒状、石英玻璃材料的发光管。双层管,具有筒状、石英玻璃材料的作为第一管的内管和筒状、石英玻璃材料的作为第二管的外管,所述内管设于筒状地包围所述金属卤化物灯的所述发光管的位置,所述外管设于筒状地包围该内管的位置,该第一管和该第二管之间的空间是被封闭的空间双层管,以使得在所述第一管和所述第二管之间的所述空间流体能够流通。氧化膜,设置在所述双层管的所述外管的外表面上、或者在所述双层管的所述内管的与所述金属卤化物灯相对的面上,膜厚在0.4μm以上、1.0μm以下,含有钛、硅、铋、和钽。
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