Invention Publication
CN103081078A 薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置
无效 - 撤回
- Patent Title: 薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置
- Patent Title (English): Thin-film transistor, method of manufacturing thereof, and display apparatus
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Application No.: CN201180040719.2Application Date: 2011-07-05
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Publication No.: CN103081078APublication Date: 2013-05-01
- Inventor: 林宏 , 川岛孝启 , 河内玄士朗
- Applicant: 松下电器产业株式会社 , 松下液晶显示器株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 松下电器产业株式会社,松下液晶显示器株式会社
- Current Assignee: 松下电器产业株式会社,松下液晶显示器株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 周春燕; 段承恩
- International Application: PCT/JP2011/003845 2011.07.05
- International Announcement: WO2013/005250 JA 2013.01.10
- Date entered country: 2013-02-22
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L21/20 ; H01L29/786

Abstract:
本发明的薄膜晶体管的目的在于提供可以使优异的导通特性与优异的截止特性并存、电特性相对于源电极以及漏电极的调换成为对称的薄膜晶体管,具备:基板(100);栅电极(110);栅极绝缘层(120);形成于栅电极(110)的上方的栅极绝缘层(120)上的结晶硅层(131);形成于栅极绝缘层(120)上且结晶硅层(131)的两侧、膜厚比结晶硅层(131)的膜厚薄的非晶硅层(130);形成于结晶硅层(131)上的沟道保护层(140);源电极(171)以及漏电极(172)。
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