发明授权
CN103081083B 拾取方法和拾取装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 拾取方法和拾取装置
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申请号： CN201180041531.X申请日： 2011-06-30
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公开(公告)号： CN103081083B公开(公告)日： 2015-09-23
- 发明人: 中尾贤 , 中村充一 , 饭田到 , 原田宗生
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权： 2010-194619 2010.08.31 JP
- 国际申请： PCT/JP2011/065058 2011.06.30
- 国际公布： WO2012/029402 JA 2012.03.08
- 进入国家日期： 2013-02-27
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/301 ; H01L21/52
摘要：
使第1吸附部靠近并接触被粘贴在粘合片上的芯片，并且，使第2吸附部靠近粘合片，并使第2吸附部以与第1吸附部相对的方式接触粘合片，该第2吸附部在用于与粘合片接触的接触面上形成有凹部，利用与粘合片接触着的第2吸附部来吸引粘合片，并且利用注入部向粘合片与芯片之间注入流体，从而使粘合片从芯片的与凹部相对的部分剥离，在利用第1吸附部吸附着芯片的状态下，使第1吸附部远离粘合片，从而拾取芯片。
公开/授权文献
- CN103081083A 拾取方法和拾取装置 公开/授权日：2013-05-01