发明授权
- 专利标题: 雪崩光电二极管
- 专利标题(英): Avalanche photodiode
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申请号: CN201180042210.1申请日: 2011-09-01
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公开(公告)号: CN103081129B公开(公告)日: 2015-07-22
- 发明人: 石桥忠夫 , 安藤精后 , 名田允洋 , 村本好史 , 横山春喜
- 申请人: NTT电子股份有限公司 , 日本电信电话株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川
- 专利权人: NTT电子股份有限公司,日本电信电话株式会社
- 当前专利权人: NTT电子股份有限公司,日本电信电话株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 许海兰
- 优先权: 2010-197155 2010.09.02 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/069866 2011.09.01
- 国际公布: WO2012/029896 JA 2012.03.08
- 进入国家日期: 2013-03-01
- 主分类号: H01L31/107
- IPC分类号: H01L31/107
摘要:
本发明的目的在于提供一种能够降低台面表面、电极层的形状所引起的暗电流的APD。APD(301)具备:半绝缘性基板(1);在半绝缘性基板(1)面上,按照p型电极层(2)、p型光吸收层(3A)、低杂质浓度的光吸收层(3B)、带隙倾斜层(4)、p型电场控制层(5)、雪崩倍增层(6)、n型电场控制层(7A)、以及低杂质浓度的电子行进层(7B)的顺序层叠的第1层叠结构所构成的第1台面(101);以及从层叠方向看,外周处于第1台面(101)的外周的内侧,在第1台面(101)的电子行进层(7B)侧的表面上,按照n型电极缓冲层(8A)、以及n型电极层(8B)的顺序层叠的第2层叠结构所构成的第2台面(102),n型电场控制层(7A)的总施主浓度比p型电场控制层(5)的总受主浓度低2×1011~1×1012/cm2的范围。
公开/授权文献
- CN103081129A 雪崩光电二极管 公开/授权日:2013-05-01
IPC分类: