本发明公开了一种定性定量分析SF6气体中痕量杂质的方法。其主要步骤包括：采样；利用气相色谱—质谱联用仪对样品进行定性、定量分析，检测器为四极杆质量检测器，色谱柱采用CP-Sil 5 CB毛细管柱。与现有技术相比，本发明检测组分种类全面，能够检测CF4、C2F6、CO2、C2F6S2、C4F10、C5F10、SO2F2、SF5OSO2F、SOF2、S2F10O、SO2、H2S等12种组分，并对上述化合物进行快速识别和准确定量分析。通过分析SF6气体中痕量杂质，能够控制充入电气设备中SF6气体品质，延长电气设备服役寿命。