扫描器装置及物体的三维形状测定装置
摘要:
使激光束(L50)被光束扫射装置(60)反射,并照射至全息图记录介质(45)。在全息图记录介质(45)中,使用会聚于扫射基点(B)的参照光将线状散射体的像(35)记录为全息图。光束扫射装置(60)使激光束(L50)在扫射基点(B)弯折后照射至全息图记录介质(45)。此时,使激光束的弯折状态随时间变化,以使弯折后的激光束(L60)对全息图记录介质(45)的照射位置随时间变化。来自全息图记录介质(45)的衍射光(L45)在载台(210)的受光面(R)上生成线状散射体的再现像(35)。将物体载置于受光面(R)后,通过全息图再现光投影线状图案,因此拍摄其投影像,以进行物体的三维形状测定。
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