发明公开
CN103117333A 一种提高器件良率的透明电极制作方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种提高器件良率的透明电极制作方法
- 专利标题(英): Transparent electrode manufacturing method improving device yield rate
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申请号: CN201110364932.0申请日: 2011-11-16
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公开(公告)号: CN103117333A公开(公告)日: 2013-05-22
- 发明人: 王少伟 , 陆卫 , 陈飞良 , 俞立明 , 姬弘桢 , 陈效双
- 申请人: 常州光电技术研究所 , 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海宇豪光电技术有限公司 , 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 , 中科德孵镀膜科技(南通)有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市常武中路801号常州科教城惠研楼南楼4楼
- 专利权人: 常州光电技术研究所,中国科学院上海技术物理研究所,上海宇豪光电技术有限公司,江苏奥蓝工程玻璃有限公司,中科德孵镀膜科技(南通)有限公司
- 当前专利权人: 常州光电技术研究所,中国科学院上海技术物理研究所,上海宇豪光电技术有限公司,江苏奥蓝工程玻璃有限公司,中科德孵镀膜科技(南通)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市常武中路801号常州科教城惠研楼南楼4楼
- 代理机构: 常州佰业腾飞专利代理事务所
- 代理商 徐琳淞
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种提高器件良率的透明电极制作方法,包括以下步骤:①涂胶:在需要镀制透明电极的器件功能层上面涂一层光刻胶;②曝光和显影:在光刻胶上加上所需图形的光刻版进行曝光和显影;③镀膜:在前述带有光刻胶图案的器件上镀制所需的TCO薄膜;④去胶:将镀制好TCO薄膜的器件放入丙酮或其他溶解光刻胶的溶液中,洗掉光刻胶及光刻胶所保护区域上面镀制的TCO薄膜,得到所需图形的TCO薄膜。本发明先进行光刻后再镀膜,避免了腐蚀或刻蚀这一具有损伤性的步骤,从而消除了可能带来的损伤,大大地减少了腐蚀工艺给器件可能造成的破坏,既提高了产品的良品率又减小了工作量。