一种提高器件良率的透明电极制作方法
摘要:
本发明公开了一种提高器件良率的透明电极制作方法,包括以下步骤:①涂胶:在需要镀制透明电极的器件功能层上面涂一层光刻胶;②曝光和显影:在光刻胶上加上所需图形的光刻版进行曝光和显影;③镀膜:在前述带有光刻胶图案的器件上镀制所需的TCO薄膜;④去胶:将镀制好TCO薄膜的器件放入丙酮或其他溶解光刻胶的溶液中,洗掉光刻胶及光刻胶所保护区域上面镀制的TCO薄膜,得到所需图形的TCO薄膜。本发明先进行光刻后再镀膜,避免了腐蚀或刻蚀这一具有损伤性的步骤,从而消除了可能带来的损伤,大大地减少了腐蚀工艺给器件可能造成的破坏,既提高了产品的良品率又减小了工作量。
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