- 专利标题: 用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体离子源
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申请号: CN201180046951.7申请日: 2011-09-30
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公开(公告)号: CN103119687B公开(公告)日: 2015-09-23
- 发明人: S.张
- 申请人: FEI公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI公司
- 当前专利权人: FEI公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 蒋骏; 卢江
- 优先权: 12/894779 2010.09.30 US
- 国际申请: PCT/US2011/054299 2011.09.30
- 国际公布: WO2012/044977 EN 2012.04.05
- 进入国家日期: 2013-03-28
- 主分类号: H01J37/08
- IPC分类号: H01J37/08 ; H01J27/16 ; H05H1/46
摘要:
公开了一种用于聚焦离子束(FIB)系统的电感耦合等离子体离子源,包括具有原料气输送系统的绝缘等离子体腔,与所述等离子体腔同轴放置并且与所述等离子体腔的外径接近或者与之接触的紧凑射频(RF)天线线圈。在一些实施例中,所述等离子体腔被法拉第屏蔽围绕,以防止天线上的RF电压和等离子体腔内的等离子体之间的电容耦合。使所述高介电强度绝缘管热收缩到用于形成所述天线的导电管或导线的外径上,从而允许对所述天线线圈内的匝的紧密包装。所述绝缘管能够隔离所述天线的不同部分之间以及所述天线和法拉第屏蔽之间的RF电压差。
公开/授权文献
- CN103119687A 用于电感耦合等离子体离子源的紧凑RF天线 公开/授权日:2013-05-22