一种离线大面积镀膜方法
摘要:
本发明涉及一种离线大面积镀膜方法,其特征在于:a.在气化装置中对反应前驱液进行气化;b.然后由载气携带通过管道输送至镀膜反应器;c.在镀膜反应器中,前驱气体依次经过进气腔的一组相连通的小气腔室进行前驱气体混合,然后均匀混合后的前驱气体经过镀膜喷出口对镀膜室的在线玻璃镀膜。本发明的有益效果是采用合适的气态前驱物可以在移动的大尺寸热玻璃表面均匀沉积一种或几种功能性薄膜,且薄膜厚度均匀,无明显的光学干涉条纹。
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