发明公开
- 专利标题: 一种离线大面积镀膜方法
- 专利标题(英): Method for coating films with large area offline
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申请号: CN201110368376.4申请日: 2011-11-19
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公开(公告)号: CN103121798A公开(公告)日: 2013-05-29
- 发明人: 甘治平 , 彭寿 , 金良茂 , 王东 , 陈凯 , 张家林 , 石丽芬 , 单传丽 , 邹上荣
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C03C17/00
- IPC分类号: C03C17/00
摘要:
本发明涉及一种离线大面积镀膜方法,其特征在于:a.在气化装置中对反应前驱液进行气化;b.然后由载气携带通过管道输送至镀膜反应器;c.在镀膜反应器中,前驱气体依次经过进气腔的一组相连通的小气腔室进行前驱气体混合,然后均匀混合后的前驱气体经过镀膜喷出口对镀膜室的在线玻璃镀膜。本发明的有益效果是采用合适的气态前驱物可以在移动的大尺寸热玻璃表面均匀沉积一种或几种功能性薄膜,且薄膜厚度均匀,无明显的光学干涉条纹。
公开/授权文献
- CN103121798B 一种离线大面积镀膜方法 公开/授权日:2015-12-16