发明授权
CN103130178B 电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置
失效 - 权利终止
摘要：
提供一种电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置。在该方法中，在换能器中提供的腔体通过连通部分与换能器的外部连通的情况下，在单个加热步骤中通过热处理来接合第一绝缘层和振动膜并且通过热氧化来形成第二绝缘层。
公开/授权文献
- CN103130178A 电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置 公开/授权日：2013-06-05
