发明授权
- 专利标题： 用于执行PCVD沉积工艺的设备和方法
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申请号： CN201210477438.X申请日： 2012-11-21
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公开(公告)号： CN103130411B公开(公告)日： 2017-07-14
- 发明人: I·米莉瑟维克 , M·J·N·范·斯特劳伦 , J·A·哈特苏克
- 申请人： 德拉克通信科技公司
- 申请人地址： 荷兰阿姆斯特丹
- 专利权人： 德拉克通信科技公司
- 当前专利权人： 德拉克通信科技公司
- 当前专利权人地址： 荷兰阿姆斯特丹
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权： 2007831 20111121 NL
- 主分类号： C03B37/018
- IPC分类号： C03B37/018
摘要：
本发明涉及一种用于执行PCVD沉积工艺的设备和方法，其中将一个或多个掺杂或未掺杂的玻璃层涂覆到玻璃基管的内部上，该设备包括：施加器，其具有内壁和外壁；以及微波引导件，用于向着施加器开口，该施加器绕柱轴延伸并且配置有与内壁相邻的通道，经由微波引导件所供给的微波可以经由该通道排出，基管可以沿该柱轴配置，而施加器由沿所述柱轴延伸的加热炉完全包围。
公开/授权文献
- CN103130411A 用于执行PCVD沉积工艺的设备和方法 公开/授权日：2013-06-05
