本发明涉及一种稀土金属及合金生产过程中的尾气处理方法，其特征是：利用含有与制备的稀土金属及合金中同类稀土元素的稀土氧化物与无机酸反应，制成含同类稀土元素阳离子盐，阳离子盐溶于水中并调成酸性溶液，制成吸收液，吸收液pH值的范围为0.5~6.0，稀土盐浓度为0.1~100g/L，将吸收液注入设置在电解炉尾气出口端的吸收塔进行吸收操作，吸收含氟尾气的工作温度为-10~80°C。其优点是：利用可循环工艺，在降低超标排放物浓度的同时，将其转化为生产物料，不产生对环境有影响的废弃物，提高有价元素的利用率，降低生产成本。