VFTO传感器的测试方法、装置、设备及系统
摘要:
本发明公开了一种VFTO传感器的测试方法、装置、设备及系统,其中,该装置包括:信号发生模块,与高压电极相连,用于产生上述高压电极的输入信号;信号采集模块,与VFTO传感器相连,用于采集上述VFTO传感器根据上述输入信号产生的输出信号;控制处理模块,与上述信号采集模块相连接,用于根据上述输出信号和上述输入信号确定上述VFTO传感器的频率特性。应用本发明,避免了人工测试VFTO传感器存在的缺陷,使得VFTO传感器测试更准确。
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