发明公开
- 专利标题: 真空蒸发系统
- 专利标题(英): Vacuum evaporation system
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申请号: CN201110424150.1申请日: 2011-12-16
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公开(公告)号: CN103160788A公开(公告)日: 2013-06-19
- 发明人: 张志林 , 张建华 , 蒋雪茵 , 刘立宁 , 李俊
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市闸北区延长路149号电机楼301室
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市闸北区延长路149号电机楼301室
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 何平
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24
摘要:
本发明涉及一种真空蒸发系统,包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架;托架设置在真空腔室的底部,电磁感应圈设置在托架上方,与托架相对,蒸发源为多个,真空蒸发系统还包括移动支架,多个蒸发源排列放置在移动支架上,移动支架将蒸发源送至托架上方,托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发,并在蒸发结束后返回初始位置,将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时,进行移动将下一蒸发源送至托架上方,进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源,实现连续生产,大大简化了系统的结构,降低了能量消耗,大幅度的提高生产效率和可控性,保证了产品质量。
公开/授权文献
- CN103160788B 真空蒸发系统 公开/授权日:2017-06-30
IPC分类: