真空蒸发系统
摘要:
本发明涉及一种真空蒸发系统,包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架;托架设置在真空腔室的底部,电磁感应圈设置在托架上方,与托架相对,蒸发源为多个,真空蒸发系统还包括移动支架,多个蒸发源排列放置在移动支架上,移动支架将蒸发源送至托架上方,托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发,并在蒸发结束后返回初始位置,将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时,进行移动将下一蒸发源送至托架上方,进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源,实现连续生产,大大简化了系统的结构,降低了能量消耗,大幅度的提高生产效率和可控性,保证了产品质量。
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