物品保管设备以及物品保管方法
摘要:
本发明的物品保管设备具备:收纳基板的运送容器的多个收纳部,和向多个收纳部供给惰性气体的惰性气体供给路径。多个收纳部被区分成多个区域。惰性气体供给路径具备:向区域供给惰性气体的区域用供给部分,和将由区域用供给部分供给到区域的惰性气体向该区域中的多个收纳部分支供给的收纳部用供给部分。在物品保管设备上设有:使两个以上的收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分,和能够切换成旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。
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