一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板

发明授权

CN103178021B 一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板有权

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专利标题： 一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板
专利标题（英）： Oxide thin-film transistor array substrate, manufacturing method for same and display panel
申请号： CN201310063256.2

申请日： 2013-02-28
公开(公告)号： CN103178021B

公开(公告)日： 2015-02-11
发明人: 孙双
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
代理商 申健
主分类号： H01L21/84
IPC分类号： H01L21/84 ; H01L27/12

摘要：

本发明实施例提供了一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板，能够减少Oxide TFT的构图工艺次数，简化生产工艺，降低制作成本。该方法包括：通过一次构图工艺，在形成有栅线和栅极图形的基板上，形成包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形。本发明实施例适用于显示技术领域。

公开/授权文献

CN103178021A 一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板公开/授权日：2013-06-26

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70	.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77	..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78	...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）
H01L21/82	....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/84	.....衬底不是半导体的，例如绝缘体