发明授权
CN103183349B 硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法
- 专利标题(英): Recovery method for silicon carbide and polyethyleneglycol cutting fluids in waste cutting mortar for silicon wafer
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申请号: CN201110460682.0申请日: 2011-12-31
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公开(公告)号: CN103183349B公开(公告)日: 2015-03-11
- 发明人: 杨长剑 , 莘双银 , 周君 , 支田田
- 申请人: 浙江昱辉阳光能源有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区
- 专利权人: 浙江昱辉阳光能源有限公司
- 当前专利权人: 浙江昱辉阳光能源有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 逯长明
- 主分类号: C01B31/36
- IPC分类号: C01B31/36 ; C10M175/00
摘要:
本发明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法,将硅片切割废砂浆与水混合后进行第一级固液分离,将第一级固体颗粒经水稀释后进行第二级固液分离,将第二级悬浮液回用于上述混合,将第二级固体颗粒经第一级水洗后进行第三级离心分离,将第三级离心液回用于上述稀释,将第三级离心固体颗粒经第二级水洗后进行第四级离心分离,将第四级离心液回用于第一级水洗,将第四级离心固体颗粒经干燥、筛选后得到碳化硅;将第一级悬浮液进行过滤、脱色和树脂交换后,依次进行减压蒸馏和薄膜蒸发,得到聚乙二醇切割液、减压蒸馏水和薄膜蒸发水,所述减压蒸馏水用于第二级水洗,所述薄膜蒸发水用于第一级水洗。该回收方法显著降低污水的污染程度,利于环保。
公开/授权文献
- CN103183349A 硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法 公开/授权日:2013-07-03