可切换滤波器和设计结构
摘要:
本文中公开了可切换和/或可调谐的滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构,所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括形成微机电结构(MEMS),所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁:在该位置中,所述MEMS梁在致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。
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