一种标准气体获取设备和基于标准气体的供气系统
摘要:
本发明实施例公开了一种标准气体获取设备,其特征在于,包括:压缩气瓶连接头、盛装有背景气的冲洗气瓶和减压阀;其中,所述压缩气瓶连接头为包括第一接头、第二接头和第三接头的三通管;所述第一接头可与盛装有所述标准气体的压缩气瓶的瓶口连接,所述第二接头与所述冲洗气瓶的瓶口相连接,所述第三接头与所述减压阀的阀门入口相连接,待所述背景气将死体积内的杂质吹扫至其杂质含量低于预期值时,再通过该标准气体获取设备获取所述标准气体,从而在不降低所述标准气体利用率及所述标准气体样品量较少的前提下,可有效清洁死体积内残留的杂质。
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