金属丝放电加工装置以及半导体晶片制造方法
摘要:
获得将金属丝(3)在主引导辊(1a~1d)间卷挂多次并同时进行多个切断加工的金属丝放电加工装置,该金属丝放电加工装置抑制切断金属丝部(CL)的振动而能够进行稳定加工。与主引导辊(1a~1d)分开地以引导金属丝(3)并形成抑制了振动的多个切断金属丝部(CL)的方式具备从动式的减振引导辊(7a,7b)或者减振引导件(21a,21b),规定切断金属丝部(CL)相对喷嘴(8a,8b)的位置。
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