发明公开
- 专利标题: 电子出射窗箔
- 专利标题(英): An electron exit window foil
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申请号: CN201180056906.X申请日: 2011-11-09
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公开(公告)号: CN103229269A公开(公告)日: 2013-07-31
- 发明人: 本诺·齐格利戈 , 卢卡·波皮 , 拉斯-奥克·内斯隆德 , 沃纳·哈格 , 库尔特·霍尔姆 , 安德斯·克里斯蒂安松
- 申请人: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
- 申请人地址: 瑞士普利
- 专利权人: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
- 当前专利权人: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
- 当前专利权人地址: 瑞士普利
- 代理机构: 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠
- 国际申请: PCT/SE2011/051340 2011.11.09
- 国际公布: WO2012/074453 EN 2012.06.07
- 进入国家日期: 2013-05-27
- 主分类号: H01J33/04
- IPC分类号: H01J33/04 ; B32B15/00 ; C23C30/00 ; G21K5/04 ; H01J5/18
摘要:
本发明提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构,该夹层结构具有Ti膜(202)、比Ti具有更高热导率的材料的第一层(204)和能够保护所述膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206),其中该第二层(206)面向该腐蚀环境。
公开/授权文献
- CN103229269B 电子出射窗箔 公开/授权日:2016-09-07