发明授权
CN103229609B 第二级互连结构及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 第二级互连结构及其制造方法
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申请号: CN201180053361.7申请日: 2011-09-20
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公开(公告)号: CN103229609B公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: 普卢格萨·M·拉杰 , 尼蒂什·孔巴特 , 文奇·辛德曼 , 饶·R·图马拉 , 秦娴
- 申请人: 乔治亚技术研究公司
- 申请人地址: 美国乔治亚州亚特兰大
- 专利权人: 乔治亚技术研究公司
- 当前专利权人: 乔治亚技术研究公司
- 当前专利权人地址: 美国乔治亚州亚特兰大
- 代理机构: 北京英特普罗知识产权代理有限公司
- 代理商 齐永红; 常春
- 优先权: 61/387,120 2010.09.28 US 61/509,209 2011.07.19 US
- 国际申请: PCT/US2011/052384 2011.09.20
- 国际公布: WO2012/047506 EN 2012.04.12
- 进入国家日期: 2013-05-06
- 主分类号: H05K7/10
- IPC分类号: H05K7/10
摘要:
本发明的各种实施例提供了一种应力消除、第二级互连结构,其成本低并可包容低TCE封装和印刷电路板之间的TCE失配。互连结构的各种实施例的是可再用的,并且还可以扩展到从约1毫米(mm)至约150微米(μm)的节距。该互连结构包括至少一个第一焊盘、支撑柱以及焊料突起,其中,所述第一焊盘和支撑柱可适于基本上吸收所有的塑性应变,并因此,提高两电子元件之间的顺度。本发明的互连结构的通用性、可缩放性和应力消除特性使得其是一种应用于当前二维和不断发展的三维集成电路结构的理想结构。
公开/授权文献
- CN103229609A 第二级互连结构及其制造方法 公开/授权日:2013-07-31