一种具有电极组的环形激光器及其电极组的制作方法
摘要:
本发明涉及一种具有电极组的环形激光器及其电极组的制作方法,环形激光器包括一个谐振腔体,该谐振腔体上包括有电极组,光学镜和若干条通光孔道;谐振腔体内部充填有氦氖混合气体;所述电极组是由电极导体与玻璃环片通过连接层热压连接而成。电极组的制作步骤包括:沉积种子层和过渡层,制作活性反应层,激发活性反应层,热压焊接电极导体和玻璃环片。本发明的主要优点是:1、电极组通过其玻璃环片与谐振腔体封接,实现了局部加热瞬间气密封接,有效消除整体加热封接时产生的热残余应力影响;2、玻璃环片与谐振腔通过光胶贴装,方便电极组的拆卸和更换;3、玻璃环片与谐振腔体是相同材料,避免了电极组与谐振腔体直接封接时产生的封接应力。
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