- 专利标题: 蒸镀方法、蒸镀膜和有机电致发光显示装置的制造方法
- 专利标题(英): Deposition method, deposition film, and method for producing organic electroluminescence display device
-
申请号: CN201180062668.3申请日: 2011-12-20
-
公开(公告)号: CN103270815A公开(公告)日: 2013-08-28
- 发明人: 园田通 , 川户伸一 , 井上智 , 桥本智志
- 申请人: 夏普株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 2010-291203 2010.12.27 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/079453 2011.12.20
- 国际公布: WO2012/090777 JA 2012.07.05
- 进入国家日期: 2013-06-25
- 主分类号: H05B33/10
- IPC分类号: H05B33/10 ; C23C14/04 ; C23C14/24 ; G09F9/30 ; H01L27/32 ; H01L51/50 ; H05B33/04 ; H05B33/06 ; H05B33/26
摘要:
本发明的蒸镀方法包括:准备工序,准备固定蒸镀掩模(81)与蒸镀源(85)的相对位置的掩模单元;蒸镀工序,使上述掩模单元和被成膜基板(200)中的至少一个相对移动,使从蒸镀源(85)射出的蒸镀流蒸镀在蒸镀区域(210);和闸门位置调整工序,调整第二闸门(111)的位置,以遮蔽流向不需蒸镀区域(210)的蒸镀流。
公开/授权文献
- CN103270815B 蒸镀方法、蒸镀膜和有机电致发光显示装置的制造方法 公开/授权日:2015-11-25