发明授权
CN103278124B 薄膜厚度的测试方法和装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 薄膜厚度的测试方法和装置
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申请号： CN201310173164.X申请日： 2013-05-10
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公开(公告)号： CN103278124B公开(公告)日： 2016-03-02
- 发明人: 王灿
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号： G01B21/08
- IPC分类号： G01B21/08
摘要：
本发明实施例公开了一种薄膜厚度的测试方法和装置，涉及测试领域，能够在保证测试精度的同时，降低测量薄膜的厚度的成本。该薄膜厚度的测试方法包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行测量。
公开/授权文献
- CN103278124A 薄膜厚度的测试方法和装置 公开/授权日：2013-09-04
