发明公开
CN103278148A 磁致伸缩固体振子双轴微陀螺
失效 - 权利终止
- 专利标题: 磁致伸缩固体振子双轴微陀螺
- 专利标题(英): Two-axis microgyroscope of magnetostrictive solid oscillator
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申请号: CN201310165090.5申请日: 2013-05-07
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公开(公告)号: CN103278148A公开(公告)日: 2013-09-04
- 发明人: 崔峰 , 陈文元 , 张卫平 , 吴校生 , 刘武 , 杨垒
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王毓理; 王锡麟
- 主分类号: G01C19/5621
- IPC分类号: G01C19/5621 ; G01C19/5628
摘要:
一种微机电技术领域的磁致伸缩固体振子双轴微陀螺,包括:固体振子、用于驱动固体振子振动的下定子、上定子以及三个磁敏传感器,其中:下定子和上定子对称设置于固体振子的上端面和下端面,三个磁敏传感器分别设置于固体振子的三个侧面上且分别感应固体振子的X轴向磁场变化、Y轴向磁场变化和Z轴向磁场变化,输出相应的电信号以对应实现微陀螺的Y轴向输入角速率的测量、X轴向输入角速率的测量和Z轴向参考振动的监测。本发明微陀螺利用整体式磁致伸缩材料的固体振子同时实现科氏加速度效应耦合微陀螺的驱动振动和检测振动,且能同时测量双输入轴角速率,灵敏度高;采用MEMS技术制造,体积小。
公开/授权文献
- CN103278148B 磁致伸缩固体振子双轴微陀螺 公开/授权日:2015-05-27