本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括基座、轴承、气缸、偏心凸轮盘、至少三个凸轮随动器、至少三个保护爪、至少三个线轨、至少三个挡块以及至少三个导向螺杆。轴承具有可相对运动的外环与内环，内环与基座保持相对静止。气缸具有固定端与活动端，固定端固定于基座。偏心凸轮盘与外环保持相对静止，且可转动地设置于基座上且连接于活动端，偏心凸轮盘具有至少三个均匀分布的偏心槽，且偏心槽包括偏心圆弧，其圆心与偏心凸轮盘的圆心不一致。凸轮随动器可活动地与偏心槽对应设置。保护爪与凸轮随动器对应连接设置。本发明将直线位移转化为多个等分径向位移，以实现通过一个动力源完成多个径向同步力，结构简单，摩擦力小，精度高，同步性高。