相变存储器及其制造方法
摘要:
本发明提供一种相变存储器及其制造方法,所述相变存储器包括:衬底,位于衬底上的存储单元阵列和电路单元,所述电路单元位于所述存储单元阵列周围,所述相变存储器还包括位于所述存储单元阵列和所述电路单元之间的、围绕所述存储单元阵列的沟槽隔离结构。所述相变存储器的制造方法,包括:提供衬底;在衬底上的存储单元区域形成存储单元阵列;在衬底上形成围绕所述存储单元阵列的沟槽隔离结构;在衬底上沟槽隔离结构的周围区域形成电路单元。所述沟槽隔离结构可以使所述存储单元阵列和所述电路单元之间绝缘,可以减小存储单元阵列和电路单元之间的寄生二极管,以提高相变存储器的性能。
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