一种有机镀膜装置及方法
摘要:
本发明公开了一种有机镀膜装置及方法,包括:蒸镀设备、电子发射装置和喷淋设备;其中蒸镀设备包括蒸发容器,蒸发容器为线性蒸发容器,从蒸发容器中产生均匀的有机气体;电子发射装置水平设置在蒸发容器的上方,使得从蒸发容器蒸发出的有机气体均匀带电,得到带电的有机气体;喷淋设备通过电场的作用力使得带电的有机气体往背板运动,在背板上形成有机膜。本发明通过将蒸发的有机气体均匀带电,提高有机材料的利用率,再利用电场对带电的有机气体进行加速,并从喷淋设备中将有机气体均匀喷出,通过掩膜沉积在背板上,提高成膜的精度和速率,大面积成膜时保证膜的均匀性。
公开/授权文献
0/0