发明公开
- 专利标题: 一种有机镀膜装置及方法
- 专利标题(英): Organic film coating device and method
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申请号: CN201310231659.3申请日: 2013-06-09
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公开(公告)号: CN103305794A公开(公告)日: 2013-09-18
- 发明人: 沈武林 , 姜春生 , 代青 , 陈海晶 , 袁广才 , 方金钢
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 王莹
- 主分类号: C23C14/12
- IPC分类号: C23C14/12 ; C23C14/24
摘要:
本发明公开了一种有机镀膜装置及方法,包括:蒸镀设备、电子发射装置和喷淋设备;其中蒸镀设备包括蒸发容器,蒸发容器为线性蒸发容器,从蒸发容器中产生均匀的有机气体;电子发射装置水平设置在蒸发容器的上方,使得从蒸发容器蒸发出的有机气体均匀带电,得到带电的有机气体;喷淋设备通过电场的作用力使得带电的有机气体往背板运动,在背板上形成有机膜。本发明通过将蒸发的有机气体均匀带电,提高有机材料的利用率,再利用电场对带电的有机气体进行加速,并从喷淋设备中将有机气体均匀喷出,通过掩膜沉积在背板上,提高成膜的精度和速率,大面积成膜时保证膜的均匀性。
公开/授权文献
- CN103305794B 一种有机镀膜装置及方法 公开/授权日:2016-03-02
IPC分类: