光谱仪、包含该光谱仪的图像评价单元和图像形成装置
Abstract:
一种光谱仪,包括将光束投射至目标物的光源;包括多个孔径的光学元件,其中被目标物反射的光束传输通过该孔径;用于从传输通过该光学元件的多个光束中形成衍射图像的衍射元件;和光接收元件,用于接收由衍射元件形成的衍射图像,且包括以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像的光学屏蔽。
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