发明授权
- 专利标题: 一种负性化学放大光刻胶及其成像方法
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申请号: CN201310277171.4申请日: 2013-07-03
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公开(公告)号: CN103309160B公开(公告)日: 2015-08-26
- 发明人: 孙嘉 , 陈昕 , 罗杰·森特 , 李冰 , 刁翠梅 , 李海波 , 韩现涛
- 申请人: 北京科华微电子材料有限公司 , 北京科华丰园微电子科技有限公司
- 申请人地址: 北京市顺义区竺园路4号(天竺综合保税区)
- 专利权人: 北京科华微电子材料有限公司,北京科华丰园微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 北京科华微电子材料有限公司,北京科华丰园微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市顺义区竺园路4号(天竺综合保税区)
- 代理机构: 北京驰纳智财知识产权代理事务所
- 代理商 谢亮; 赵德兰
- 主分类号: G03F7/038
- IPC分类号: G03F7/038 ; G03F7/00
摘要:
本发明提供一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法,该负性化学放大光刻胶含有苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂。其中苯酚类树脂是所述新型负性化学放大光刻胶的主体材料,光致产酸剂是在光照时能够产生一定强度的酸,交联剂能够与酚羟基或邻/对位羟甲基官能团发生缩和反应。在所述新型负性化学放大光刻胶成像方法中包括涂布、烘烤、曝光、烘烤和显影等步骤。本发明所述的化学放大负性光刻胶,可以有效提高光刻胶的分辨率及感光速度,同时与正性光刻胶所用的试剂相同,适用于高档集成电路、平板显示及半导体照明芯片制造等领域。
公开/授权文献
- CN103309160A 一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法 公开/授权日:2013-09-18
IPC分类: