晶体硅抛光液的添加剂及其使用方法
摘要:
本发明公开了用于晶体硅抛光液的添加剂,由烷基糖苷、吡嗪、聚乙二醇和水组成。在对硅片进行表面抛光时,将本发明的添加剂加入到碱性溶液中,可达到优异的抛光效果。
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