发明公开
- 专利标题: 晶体硅抛光液的添加剂及其使用方法
- 专利标题(英): Additive for crystalline silicon polishing solution and application method thereof
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申请号: CN201310239830.5申请日: 2013-06-18
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公开(公告)号: CN103320018A公开(公告)日: 2013-09-25
- 发明人: 章圆圆 , 陈培良 , 符黎明
- 申请人: 常州时创能源科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋
- 专利权人: 常州时创能源科技有限公司
- 当前专利权人: 常州时创能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋
- 代理机构: 南京汇盛专利商标事务所
- 代理商 陈扬
- 主分类号: C09G1/00
- IPC分类号: C09G1/00 ; H01L21/306
摘要:
本发明公开了用于晶体硅抛光液的添加剂,由烷基糖苷、吡嗪、聚乙二醇和水组成。在对硅片进行表面抛光时,将本发明的添加剂加入到碱性溶液中,可达到优异的抛光效果。
公开/授权文献
- CN103320018B 晶体硅抛光液的添加剂及其使用方法 公开/授权日:2014-04-16