一种挥发性有机物处理方法及装置，该方法包括有：一露点温度感知步骤，感知大气的露点温度作为基准温度；一增湿及冷凝步骤，喷洒水雾令废气气流增加湿度且予以冷凝而产生含有挥发性有机物的凝结液；一冷凝后露点温度感知步骤，感知冷凝处理后的气流温度；一液滴收集步骤，收集增湿及冷凝步骤所滴落的液滴，并将所收集液滴用于循环喷洒而增湿及冷凝；以及一控制步骤，控制冷凝处理后的气流温度接近于基准温度。本发明具有几乎不会产生废水且提高挥发性有机物回收浓度以再利用的功效，还具有洗涤悬浮微粒的功效。