Invention Publication
- Patent Title: 利用可调波长激光器进行磁光椭偏测试的装置及测量方法
- Patent Title (English): Device utilizing adjustable wave length laser to carry out magneto-optical ellipsometry test and measuring method
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Application No.: CN201310264473.8Application Date: 2013-06-27
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Publication No.: CN103364349APublication Date: 2013-10-23
- Inventor: 连洁 , 王晓 , 张福军 , 孙兆宗 , 赵明琳 , 张文赋 , 高尚
- Applicant: 山东大学
- Applicant Address: 山东省济南市历城区山大南路27号
- Assignee: 山东大学
- Current Assignee: 山东大学
- Current Assignee Address: 山东省济南市历城区山大南路27号
- Agency: 济南金迪知识产权代理有限公司
- Agent 许德山
- Main IPC: G01N21/21
- IPC: G01N21/21
Abstract:
利用可调波长激光器进行磁光椭偏测试的装置及测量方法,属广义椭偏测量技术领域。装置包括激光电源、可调波长激光器、光路系统、电磁铁、锁相放大器和PC机,其中光路系统包括起偏器、两个光阑、斩波器、检偏器、聚光镜、滤光片和光电探测器等。其特征在于通过可调波长激光器与磁光椭偏系统的结合,将单波长磁光椭偏测试延伸到多波长磁光椭偏测试;通过调节激光电源的电流可以使激光器出射不同频率的激光,同时更换光电探测器上前置连接的与出射激光频率对应的滤光片,由PC机对磁性材料样品的进行多波长磁光椭偏测试,可以得到该材料磁光耦合系数的光谱曲线。本装置结构简单合理,组装方便,测量精度高,操作简单。
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