用于标记基板的装置和方法以及标记
摘要:
本发明公开了用等离子发生器(5)标记基板(14)的装置和方法以及相应的标记。等离子流(11)被导向到基板(14)上并与粉末流(12)叠加。在粉末定量和分散单元(7)中,粉末(20)与粉末形式的标记物质(30)混合。该标记形成了标记物质(30)均匀分布并永久嵌入的粉末(20)材料的粘合层(15)。
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