发明公开
- 专利标题: 用于标记基板的装置和方法以及标记
- 专利标题(英): Device and method for marking a substrate and a marking for a substrate
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申请号: CN201310141888.6申请日: 2013-04-22
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公开(公告)号: CN103374695A公开(公告)日: 2013-10-30
- 发明人: 斯蒂芬·内特斯黑姆
- 申请人: 莱茵豪森等离子有限公司
- 申请人地址: 德国雷根斯堡
- 专利权人: 莱茵豪森等离子有限公司
- 当前专利权人: 赖茵豪森机械制造公司
- 当前专利权人地址: 德国雷根斯堡
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理事务所
- 代理商 徐川; 张颖玲
- 优先权: 102012103498.2 2012.04.20 DE
- 主分类号: C23C4/12
- IPC分类号: C23C4/12 ; H05H1/42 ; B05C9/08
摘要:
本发明公开了用等离子发生器(5)标记基板(14)的装置和方法以及相应的标记。等离子流(11)被导向到基板(14)上并与粉末流(12)叠加。在粉末定量和分散单元(7)中,粉末(20)与粉末形式的标记物质(30)混合。该标记形成了标记物质(30)均匀分布并永久嵌入的粉末(20)材料的粘合层(15)。
公开/授权文献
- CN103374695B 用于标记基板的装置和方法以及标记 公开/授权日:2016-04-13
IPC分类: