本说明书公开了一种通过改进生产设备，可大幅度节省设备投资却不影响溅射效果的单管直流溅射镀膜方法及其设备。为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：所使用设备包括：直流电源和单管旋转阴极；所述单管旋转阴极结构包括：阴极靶材，所述阴极靶材安装在一对旋转端头上，旋转端头连接在阴极盖板下方，阴极盖板一端设有电源接口，冷却水接口，控制回路接口和供气接口；电源接口上连接直流电源；阴极盖板内设有气体流量计，上部供气口，控制部分和旋转电机。本发明提高靶材的利用率并且节省设备投资。