一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器
摘要:
本发明涉及一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器,其特征在于:包括初级分配器(1),在初级分配器(1)的下面配合连接一组终极分配器(2)。初级分配器(1)的外壳(1f)成锥体状,在外壳(1f)内均布一组一分二分级隔板。终极分配器(2)的壳体(2h)也成锥体状,在壳体(2h)内也均布一组一分二分级隔板。本发明的优点:本装置制造简单,成本较低,对气体的均匀分配效果好。
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