本发明公开一种螺旋片簧弹性支承的三维纳米测头，属于测量仪器技术领域。它包括外壳、聚焦测头、测量臂和螺旋片簧弹性支承，其特征在于，所述聚焦测头安装在外壳的上端部，所述测量臂上设有三个平面反射镜，每个平面反射镜之间相隔180度，并且是与聚焦测头一一对应，所述螺旋片簧弹性支承固定在外壳上，处于测头最前端的测球固定安装在测杆上，测杆通过螺纹与连接件的下部相连接。本发明三维纳米测头测量灵敏度高，具有纳米级的测量灵敏度。本发明的三维纳米测头采用螺旋片簧作为弹性支撑，不容易产生塑性变形，长期使用稳定性好。测头的初始测力容易调整，易于保证测头的性能稳定性。