发明公开
CN103404124A 固体摄像装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 固体摄像装置
- 专利标题(英): Solid-state imaging device
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申请号: CN201280010614.7申请日: 2012-02-06
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公开(公告)号: CN103404124A公开(公告)日: 2013-11-20
- 发明人: 广濑裕 , 宫川良平 , 上田哲也 , 加藤刚久
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 安香子; 黄剑锋
- 优先权: 2011-044487 2011.03.01 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/000768 2012.02.06
- 国际公布: WO2012/117670 JA 2012.09.07
- 进入国家日期: 2013-08-27
- 主分类号: H04N5/369
- IPC分类号: H04N5/369 ; H01L27/146 ; H04N5/357 ; H04N5/374
摘要:
本发明涉及的固体摄像装置(101)具备:基板(318);多个下部电极(311),以分别电分离的方式,呈矩阵状被配置在基板(318)的上方;极薄绝缘膜(310),完全覆盖多个下部电极(311),且被平坦化;光电转换膜(308),被形成在极薄绝缘膜(310)的上方,将光转换为信号电荷;上部电极(307),被形成在光电转换膜(308)的上方;以及信号读出电路(220),被形成在基板(318)上,通过检测在多个下部电极(311)的每一个中发生的电流或电压的变化,从而生成与信号电荷对应的读出信号,极薄绝缘膜(310)能够传导电子以及空穴的至少一方。