本发明公开了一种超细钛粉或钛合金粉的制备方法，所述方法包括以下步骤：将钛或钛合金原料熔化为钛液或钛合金液；将所述钛液或钛合金进行一次离心雾化；再将经一次离心雾化后的钛液滴或钛合金液滴进行二次离心雾化；收集经两次离心雾化并冷却后的钛粉或钛合金粉得到超细钛粉或钛合金粉，其中，以上各步骤均在惰性气体气氛下进行。本发明的超细钛粉或钛合金粉则采用上述方法制备。本发明的超细金属粉末制取装置则用于实施上述的超细钛粉或钛合金粉的制备方法。本发明的超细钛粉或钛合金粉的制备方法生产效率高、能耗低；由该法制取的钛粉或钛合金粉的颗粒呈球形或类球形，氧含量低、密度高、流动性好、粒度细。