一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法
摘要:
本发明涉及刻蚀技术领域,公开了一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法,所述湿法刻蚀设备,包括:接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置,以及位于温度控制室内的控温系统,刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室、温度控制室、湿法刻蚀室和出板室;所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度。此外,本发明还提供了一种湿法刻蚀方法。采用本发明技术方案,由于调整刻蚀物的温度至设定温度,因此,当刻蚀液对刻蚀物进行刻蚀时,保证了刻蚀速率的一致性,提高了刻蚀生产的连续稳定性,可以适应大规模连续在线生产的要求。
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